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˙感应方向:±X ,±Y ,+Z   
˙单方向往返精度(2σ):0.35μm
˙XY平面预定行程变化:± 1.0μm
˙重量:200g
˙测针感测力量(可调式):11-30g
˙测针力量(原厂设定值设定):11-13g

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